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Suchergebnisse - Barhate, Viral N.
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The effect of post-deposition annealing on the chemical, structural and electrical properties of Al/ZrO2/La2O3/ZrO2/Al high-k nanolaminated MIM capacitors
von
Patil, Sumit R.
,
Barhate, Viral N.
,
Patil, Vilas S.
,
Agrawal, Khushabu S.
,
Mahajan, Ashok M.
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Journal of materials science. Materials in electronics
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Plasma-enhanced atomic layer-deposited La2O3 ultra-thin films on Si and 6H–SiC: a comparative study
von
Agrawal, Khushabu S.
,
Barhate, Viral N.
,
Patil, Vilas S.
,
Patil, Lalit S.
,
Mahajan, A. M.
Veröffentlicht in
Applied physics. A, Materials science & processing
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Performance enhancement of Al/La2O3/ZrO2/4H–SiC MOS device with LaON as interfacial passivation layer
von
Barhate, Viral N.
,
Agrawal, Khushabu S.
,
Patil, Vilas S.
,
Patil, Sumit R.
,
Mahajan, Ashok M.
Veröffentlicht in
Materials science in semiconductor processing
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