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    29.3: Invited Paper: The Mechanical Reliability of Flexible ALD Barrier Films

    29.3: Invited Paper: The Mechanical Reliability of Flexible ALD Barrier Films von Bulusu, Anuradha, Behm, Henrik, Sadeghi-Tohidi, Farzad, Bahre, Hendrick, Baumert, Eva, Samet, David, Hopmann, Christian, Winter, Jörg, Pierron, Olivier, Graham, Samuel


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