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Optimizing the Cutting-Force Vector in Counter Milling
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Data preparation and fabrication of DOE using electron-beam lithography
Veröffentlicht in Optics and lasers in engineering
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Direct measurement of thermoeffect influence on resist sensitivity in EBL
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Effect of plasma coatings on the fatigue strength of aluminum alloys
Veröffentlicht in Soviet Materials Science
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Precise lithography for component integral optics of nanometer range
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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