Bridging the gap between optical fibers and silicon photonic integrated circuits von Zaoui, Wissem Sfar, Kunze, Andreas, Vogel, Wolfgang, Berroth, Manfred, Butschke, Jörg, Letzkus, Florian, Burghartz, Joachim

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Cost-effective CMOS-compatible grating couplers with backside metal mirror and 69% coupling efficiency von Zaoui, Wissem Sfar, Rosa, María Félix, Vogel, Wolfgang, Berroth, Manfred, Butschke, Jörg, Letzkus, Florian

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A 3.3 V 6-Bit 100 kS/s Current-Steering Digital-to-Analog Converter Using Organic P-Type Thin-Film Transistors on Glass von Zaki, Tarek, Ante, F., Zschieschang, U., Butschke, J., Letzkus, F., Richter, H., Klauk, H., Burghartz, J. N.

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Megahertz operation of flexible low-voltage organic thin-film transistors von Zschieschang, Ute, Hofmockel, Robert, Rödel, Reinhold, Kraft, Ulrike, Kang, Myeong Jin, Takimiya, Kazuo, Zaki, Tarek, Letzkus, Florian, Butschke, Jörg, Richter, Harald, Burghartz, Joachim N., Klauk, Hagen

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Adjustable sidewall slopes by electron-beam exposure layout von Kaspar, Corinna, Butschke, Jörg, Irmscher, Mathias, Martens, Stephan, Sailer, Holger, Kirchner, Robert, Guzenko, Vitaliy A., Schift, Helmut, Burghartz, Joachim N.

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A 3.3V 6b 100kS/s current-steering D/A converter using organic thin-film transistors on glass von Zaki, T, Ante, F, Zschieschang, U, Butschke, J, Letzkus, F, Richter, H, Klauk, H, Burghartz, J N

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High-efficient CMOS-compatible grating couplers with backside metal mirror von BERROTH, MANFRED, BUTSCHKE, JOERG, SFAR ZAOUI, WISSEM, LETZKUS, FLORIAN

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Circuit impact of device and interconnect parasitics in a complementary low-voltage organic thin-film technology von Zaki, T., Butschke, J., Letzkus, F., Richter, H., Burghartz, J. N., Ante, F., Zschieschang, U., Klauk, H.

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MULTI-BUNDEL AFBUIGER-ARRAY-INRICHTING VOOR MASKERLOZE DEELTJESBUNDEL VERWERKING von IRMSCHER, MATHIAS, BUTSCHKE, JOERG, SPRINGER, REINHARD, LOESCHNER, HANS, PLATZGUMMER, ELMAR, LETZKUS, FLORIAN, KVASNICA, SAMUEL

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Multi-beam deflector array device for maskless particle-beam processing von SPRINGER REINHARD, BUTSCHKE JOERG, LOESCHNER HANS, KVASNICA SAMUEL, IRMSCHER MATHIAS, PLATZGUMMER ELMAR, LETZKUS FLORIAN

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MULTI-BEAM DEFLECTOR ARRAY DEVICE FOR MASKLESS PARTICLE-BEAM PROCESSING von SPRINGER REINHARD, BUTSCHKE JOERG, LOSCHNER HANS, KVASNICA SAMUEL, IRMSCHER MATHIAS, PLATZGUMMER ELMAR, LETZKUS FLORIAN

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Multi-bundel afbuiger-array-inrichting voor maskerloze deeltjesbundel verwerking von HANS LOESCHNER, REINHARD SPRINGER, JOERG BUTSCHKE, FLORIAN LETZKUS, SAMUEL KVASNICA, MATHIAS IRMSCHER, ELMAR PLATZGUMMER

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Method for fabricating positionally exact surface-wide membrane masks von SPRINGER REINHARD, HAUGENEDER ERNST, BUTSCHKE JOERG, EHRMANN ALBRECHT, LETZKUS FLORIAN

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Method for fabricating positionally exact surface-wide membrane masks von Butschke, Joerg, Ehrmann, Albrecht, Haugeneder, Ernst, Letzkus, Florian, Springer, Reinhard

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Method for fabricating positionally exact surface-wide membrane masks von Butschke, Joerg, Ehrmann, Albrecht, Haugeneder, Ernst, Letzkus, Florian, Springer, Reinhard

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Method for fabricating positionally exact surface-wide membrane masks von SPRINGER REINHARD, HAUGENEDER ERNST, BUTSCHKE JOERG, EHRMANN ALBRECHT, LETZKUS FLORIAN

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Großflächige Membranmaske und Verfahren zu ihrer Herstellung von HAUGENEDER, ERNST, KAMM, FRANK-MICHAEL, BUTSCHKE, JOERG, SPRINGER, REINHARD, LOESCHNER, HANS, EHRMANN, ALBRECHT, LETZKUS, FLORIAN

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Verfahren zur Herstellung großflächiger Membranmasken mittels Trockenätzen von BUTSCHKE, JOERG, SPRINGER, REINHARD, KRAGLER, KARL, EHRMANN, ALBRECHT, LETZKUS, FLORIAN, REUTER, CHRISTIAN

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Method of producing large-area membrane masks by dry etching von SPRINGER REINHARD, KRAGLER KARL, BUTSCHKE JOERG, EHRMANN ALBRECHT, REUTER CHRISTIAN, LETZKUS FLORIAN

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Large-area membrane mask and method for fabricating the mask von SPRINGER REINHARD, HAUGENEDER ERNST, BUTSCHKE JOERG, EHRMANN ALBRECHT, LOESCHNER HANS, KAMM FRANK-MICHAEL, LETZKUS FLORIAN

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