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A Linear-complexity Layer-coupling Algorithm for 1D- and 2D-periodic Scattering in Multilayered Media
von
Van Rijswijk, Loes Frederique
,
Buijnsters, Frank Jaco
,
van Beurden, Martijn Constant
Veröffentlicht in
Progress in electromagnetics research. Research B
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Artikel
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2
Metrology method and apparatus, computer program and lithographic system
von
Bosch, Roger Hubertus Elisabeth Clementine
,
Buijnsters, Frank Jaco
,
De Zwart, Siebe Tjerk
,
Palha Da Silva Clerigo, Artur
,
Onose, Alexandru
,
Jacobs, Sander Silvester Adelgondus Marie
,
Verheul, Nick
,
Dirks, Remco
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3
METROLOGY METHOD AND APPARATUS, COMPUTER PROGRAM AND LITHOGRAPHIC SYSTEM
von
DIRKS, Remco
,
BUIJNSTERS, Frank Jaco
,
JACOBS, Sander Silvester Adelgondus Marie
,
PALHA DA SILVA CLERIGO, Artur
,
DE ZWART, Siebe Tjerk
,
ONOSE, Alexandru
,
VERHEUL, Nick
,
BOSCH, Roger Hubertus Elisabeth Clementine
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4
METHODS AND APPARATUS FOR CONSTRUCTING A PARAMETERIZED GEOMETRIC MODEL OF A STRUCTURE AND ASSOCIATED INSPECTION APPARATUS AND METHOD
von
DIRKS, Remco
,
VAN LAARHOVEN, Hendrik, Adriaan
,
BUIJNSTERS, Frank, Jaco
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5
Simulating an electromagnetic response of a semiconductor structure for diffraction based optical metrology
von
WU, JIAN
,
BUIJNSTERS, FRANK JACO
,
BAI, SHUFENG
,
WHYSONG, DAVID HAROLD
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Patent
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6
METROLOGY METHOD AND APPARATUS, COMPUTER PROGRAM AND LITHOGRAPHIC SYSTEM
von
DIRKS, Remco
,
BUIJNSTERS, Frank Jaco
,
JACOBS, Sander Silvester Adelgondus Marie
,
BOSCH, Roger Hubertus Elisabeth Clementin
,
PALHA DA SILVA CLERIGO, Artur
,
DE ZWART, Siebe Tjerk
,
ONOSE, Alexandru
,
VERHEUL, Nick
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Patent
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7
METROLOGY METHOD
von
DIRKS, Remco
,
JACOBS, Sander, Silvester, Adelgondus, Marie
,
DE ZWART, Siebe, Tjerk
,
BOSCH, Roger, Hubertus, Elisabeth, Clementine
,
PALHA DA SILVA CLERIGO, Artur
,
ONOSE, Alexandru
,
BUIJNSTERS, Frank, Jaco
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8
Method of determining a reconstruction recipe describing at least nominal values
von
JACOBS, SANDER SILVESTER ADELGONDUS MARIE
,
VERHEUL, NICK
,
PALHA DA SILVA CLERIGO, ARTUR
,
DIRKS, REMCO
,
BOSCH, ROGER HUBERTUS ELISABETH CLEMENTINE
,
DE ZWART, SIEBE TJERK
,
BUIJNSTERS, FRANK JACO
,
ONOSE, ALEXANDRU
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9
Method of determining a reconstruction recipe describing at least nominal values
von
JACOBS, SANDER SILVESTER ADELGONDUS MARIE
,
VERHEUL, NICK
,
PALHA DA SILVA CLERIGO, ARTUR
,
DIRKS, REMCO
,
BOSCH, ROGER HUBERTUS ELISABETH CLEMENTINE
,
DE ZWART, SIEBE TJERK
,
BUIJNSTERS, FRANK JACO
,
ONOSE, ALEXANDRU
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Patent
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10
METHOD OF DETERMINING A RECONSTRUCTION RECIPE DESCRIBING AT LEAST NOMINAL VALUES
von
JACOBS, SANDER SILVESTER ADELGONDUS MARIE
,
VERHEUL, NICK
,
PALHA DA SILVA CLERIGO, ARTUR
,
DIRKS, REMCO
,
BOSCH, ROGER HUBERTUS ELISABETH CLEMENTINE
,
DE ZWART, SIEBE TJERK
,
BUIJNSTERS, FRANK JACO
,
ONOSE, ALEXANDRU
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Patent
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11
Metrology method and apparatus, computer program and lithographic system
von
JACOBS, SANDER SILVESTER ADELGONDUS MARIE
,
VERHEUL, NICK
,
PALHA DA SILVA CLERIGO, ARTUR
,
DIRKS, REMCO
,
BOSCH, ROGER HUBERTUS ELISABETH CLEMENTINE
,
DE ZWART, SIEBE TJERK
,
BUIJNSTERS, FRANK JACO
,
ONOSE, ALEXANDRU
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