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Selective Epitaxial Growth of SiGe(:B) for Advanced p-Type Fd-SOI
Veröffentlicht in ECS transactions
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Very Low Temperature Tensile and Selective Si:P Epitaxy for Advanced CMOS Devices
Veröffentlicht in ECS transactions
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(Keynote) Low Temperature SmartCutTM Process for 3D Integration
Veröffentlicht in ECS transactions
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(Keynote) Low Temperature SmartCut TM Process for 3D Integration
Veröffentlicht in ECS transactions
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