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Surface micromachined metallic microneedles
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
VolltextArtikel -
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Magnet arrays for use in a 3-D MEMS mirror array for optical switching
Veröffentlicht in IEEE transactions on magnetics
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Hollow Metallic Micromachined Needle Arrays
Veröffentlicht in Biomedical microdevices
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