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1
Inspection of EUV masks by a DUV mask inspection tool
von
BELENKY YURI
,
ABRAMSON MARIANO
,
BRAUDE CHAIM
,
BAER ADAM
,
VISHNIPOLSKY JIMMY
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Inspection of EUV masks by a DUV mask inspection tool
von
Braude, Chaim
,
Abramson, Mariano
,
Baer, Adam
,
Vishnipolsky, Jimmy
,
Belenky, Yuri
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3
INSPECTION OF EUV MASKS BY A DUV MASK INSPECTION TOOL
von
BELENKY YURI
,
ABRAMSON MARIANO
,
BRAUDE CHAIM
,
BAER ADAM
,
VISHNIPOLSKY JIMMY
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Qualification of a mask
von
Barotv, Avishai
,
Greenberg, Gadi
,
Braude, Chaim
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5
Qualification of a mask
von
BRAUDE CHAIM
,
GREENBERG GADI
,
BAROTV AVISHAI
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6
QUALIFICATION OF A MASK
von
BRAUDE CHAIM
,
GREENBERG GADI
,
BARTOV AVISHAI
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7
Method and system for aerial imaging of a reticle
von
Mangan, Shmuel
,
Goldberg, Boris
,
Schwarzband, Ishai
,
Haran, On
,
Ben-Yishay, Michael
,
Sagiv, Amir
,
Braude, Chaim
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8
Method and system for evaluating an evaluated pattern of a mask
von
BRAUDE CHAIM
,
BEN-YISHAI MICHAEL
,
SCHWARZBAND ISHAI
,
GREENBERG GADI
,
MANGAN SHMOOLIK
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9
Method and system for evaluating an evaluated pattern of a mask
von
Schwarzband, Ishai
,
Mangan, Shmoolik
,
Braude, Chaim
,
Ben-Yishai, Michael
,
Greenberg, Gadi
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10
Method and system for aerial imaging of a reticle
von
SAGIV AMIR
,
HARAN ON
,
BEN-YISHAY MICHAEL
,
BRAUDE CHAIM
,
GOLDBERG BORIS
,
MANGAN SHMUEL
,
SCHWARZBAND ISHAI
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METHOD AND SYSTEM FOR EVALUATING EVALUATED PATTERN OF MASK
von
BRAUDE CHAIM
,
BEN-YISHAI MICHAEL
,
SCHWARZBAND ISHAI
,
GREENBERG GADI
,
MANGAN SHMOOLIK
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12
METHOD AND SYSTEM FOR EVALUATING AN EVALUATED PATTERN OF A MASK
von
BEN YISHAI MICHAEL
,
BRAUDE CHAIM
,
SCHWARZBAND ISHAI
,
GREENBERG GADI
,
MANGAN SHMOOLIK
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13
METHOD AND SYSTEM FOR EVALUATING AN EVALUATED PATTERN OF A MASK
von
BRAUDE CHAIM
,
BEN-YISHAI MICHAEL
,
SCHWARZBAND ISHAI
,
GREENBERG GADI
,
MANGAN SHMOOLIK
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Method and system for evaluating an evaluated pattern of a mask
von
BEN YISHAI MICHAEL
,
BRAUDE CHAIM
,
SCHWARZBAND ISHAI
,
GREENBERG GADI
,
MANGAN SHMOOLIK
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Method and system for evaluating an evaluated pattern of a mask
von
BEN YISHAI MICHAEL
,
BRAUDE CHAIM
,
SCHWARZBAND ISHAI
,
GREENBERG GADI
,
MANGAN SHMOOLIK
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Patent
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