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1
SHOWERHEAD COLD PLATES AND SUBSTRATE SUPPORTS WITH SPIRAL-SHAPED CHANNELS AND CIRCULAR MANIFOLDS
von
MACE, Adam Christopher
,
NAIK, Indraneel Chandrashekhar
,
SUBRAMANYA, Spoorthi
,
BRADLEY, Brian Mwenze
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2
LINEAR ARRANGEMENT FOR SUBSTRATE PROCESSING TOOLS
von
ORTIZ, Marissa Elena
,
LUONG, Kevin
,
PENA, Christopher J
,
KELLOGG, Michael C
,
BROWN, Danny Arthur
,
NENOV, Emil
,
BRADLEY, Brian Mwenze
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3
LINEAR ARRANGEMENT FOR SUBSTRATE PROCESSING TOOLS
von
ORTIZ, Marissa Elena
,
LUONG, Kevin
,
PENA, Christopher J
,
KELLOGG, Michael C
,
BROWN, Danny Arthur
,
NENOV, Emil
,
BRADLEY, Brian Mwenze
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4
기판 프로세싱 툴들을 위한 선형 배열
von
BROWN DANNY ARTHUR
,
BRADLEY BRIAN MWENZE
,
ORTIZ MARISSA ELENA
,
PENA CHRISTOPHER J
,
KELLOGG MICHAEL C
,
NENOV EMIL
,
LUONG KEVIN
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Patent
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5
Linear arrangement for substrate processing tools
von
PENA, CHRISTOPHER J
,
NENOV, EMIL
,
BROWN, DANNY ARTHUR
,
ORTIZ, MARISSA ELENA
,
KELLOGG, MICHAEL C
,
BRADLEY, BRIAN MWENZE
,
LUONG, KEVIN
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Patent
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Semiconductor Devices
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Esp@Cenet
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