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Glass wafer and glass element for pressure sensor
von
JOTZ MATTHIAS
,
UTZ THOMAS
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PEUCHERT ULRICH
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BREITBACH CHRISTIAN
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LIEBSCH STEFAN
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SPACER WAFER FOR MANUFACTURING ELECTRO-OPTICAL CONVERTER MEMBER, SPACER, METHOD FOR MANUFACTURING SPACER WAFER, AND ELECTRO-OPTICAL CONVERTER
von
GLEISER, VALERIE
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ORTNER ANDREAS
,
HEILING STEFAN
,
WAGNER FABIAN
,
HOLMBERG ANDERS
,
HETTLER ROBERT
,
PEUCHERT ULRICH
,
DU RICH, MATTHIAS
,
MULLER LIONEL
,
BLESSINGER MARK
,
HEISSOUQUET MARKUS
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Resources, Tools, and Applications at the CLARIN Center Stuttgart
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