-
1
-
2
-
3
Smart MEMS Flow Sensor: Theoretical Analysis and Experimental Characterization
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
VolltextArtikel -
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
Fabrication of gap-optimized CMUT
Veröffentlicht in IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
VolltextArtikel -
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20