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Parasitic Coupling in 3D Sequential Integration: The Example of a Two-Layer 3D Pixel
Veröffentlicht in Technologies (Basel)
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Parasitic coupling in 3D equential integration: the example of a two-layer 3D pixel
Veröffentlicht in Technologies (Basel)
VolltextArtikel -
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Dielectrics stability for intermediate BEOL in 3D sequential integration
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
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