Excimer Laser Technology von Basting, Dirk, Marowsky, Gerd

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New ultraviolet lasers for material processing in industrial applications von Endert, Heinrich, Scaggs, Michael, Basting, Dirk, Stamm, Uwe

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New KrF and ArF excimer lasers for advanced deep ultraviolet optical lithography von ENDERT, H, PÄTZEL, R, REBHAN, U, POWELL, M, BASTING, D

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Alter Mut und neue Märkte - Ein Gespräch mit dem ehemaligen Vorstandsvorsitzenden der Lambda Physik AG Dr. Dirk Basting von Basting, Dirk

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Alter Mut und neue Märkte – Ein Gespräch mit dem ehemaligen Vorstandsvorsitzenden der Lambda Physik AG Dr. Dirk Basting von Basting, Dirk

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High Power Excimer Laser for Low Temperature Poly-Si Annealing von Kauf, Michael, Endert, Heinrich, Basting, Dirk

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Am Anfang steht der Spaß an der Physik: Ansprache des DPG‐Präsidenten von Basting, Dirk

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Auf ein weiteres „physikalisches Jahr”︁!: Das Jahr der Physik ist vorbei, der Dialog mit der Öffentlichkeit geht weiter von Basting, Dirk

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Excimer Lasers for Microlithography von Pätzel, R., Stamm, U.

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F2 Laser Microfabrication for Photonics and Biophotonics von Herman, Peter R.

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Principles of Excimer Lasers von von Bergmann, H., Stamm, U.

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Design and Technology of Excimer Lasers von von Bergmann, H., Rebhan, U., Stamm, U.

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Micro-Machining von Wehner, M., Ihlemann, J.

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High Intensity Applications of Excimer Lasers von Borisov, Alex B., Davis, Jack, Boyer, Keith, Rhodes, Charles K.

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Micro Processing of Borosilicate Glass and Polymers von Keiper, B., Petsch, T., Exner, H.

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Excimer Laser Assisted Deposition of Carbon and Boron Nitride Based High Temperature Superconducting Films von Reibe, G, Weibmantel, S

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Historical Review of Excimer Laser Development von Basting, D., Djeu, N., Jain, K.

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Physical Aspects of Ultra Fast UV Laser Transfer von Papazoglou, D. G., Zergioti, I., Fotakis, C.

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New Frontiers: Extreme-Ultraviolet (EUV) Technology at 13.5 nm von Stamm, Uwe

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TFT Annealing von Fiebig, M.

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