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BAFFLE FOR PROVIDING UNIFORM PROCESS GAS FLOW ON SUBSTRATE AND AROUND PEDESTAL
von
BARNETT, Cody
,
SATHISH, Karthik Adappa
,
BASARGI, Mitali Mrigendra
,
KUMAR, Ravi
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BAFFLE FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
von
BARNETT, CODY
,
BASARGI, MITALI MRIGENDRA
,
KUMAR, RAVI
,
SATHISH, KARTHIK ADAPPA
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Patent
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3
Baffle for providing uniform process gas flow on substrate and around pedestal
von
BARNETT, CODY
,
BASARGI, MITALI MRIGENDRA
,
KUMAR, RAVI
,
SATHISH, KARTHIK ADAPPA
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Patent
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Esp@Cenet
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