Suchergebnisse - BAMMANAHALLI, Gautham | OPAC THWS

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FABRICATION TOOL CALIBRATION von BAMMANAHALLI, Gautham, MOORE, Nathaniel

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FABRICATION TOOL CALIBRATION von Bammanahalli, Gautham, Moore, Nathaniel

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SUBSTRATE PLACEMENT OPTIMIZATION USING SUBSTRATE MEASUREMENTS von Babayan, Steven, Bammanahalli, Gautham Gururaj, Sridharan, Deepak

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4

SOFT-CHUCKING SCHEME FOR IMPROVED BACKSIDE PARTICLE PERFORMANCE von BAMMANAHALLI, Gautham, INOUE, Tatsuichiro, MOORE, Nathaniel, GARCIA, Alvaro, GNANAPRAKASA, Tony Jefferson

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SUBSTRATE PLACEMENT OPTIMIZATION USING SUBSTRATE MEASUREMENTS von BAMMANAHALLI, Gautham Gururaj, SRIDHARAN, Deepak, BABAYAN, Steven, LI, Haipeng

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6

LARGE DIAMETER POROUS PLUG FOR ARGON DELIVERY AND TWO STAGE SOFT CHUCKING METHOD von PROUTY, Stephen Donald, PEREZ GUZMAN, Martin, BAMMANAHALLI, Gautham, INOUE, Tatsuichiro, MOORE, Nathaniel, GARCIA, Alvaro, GNANAPRAKASA, Tony Jefferson

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7

IMPROVED VACUUM SEALING INTEGRITY OF CRYOGENIC ELECTROSTATIC CHUCKS USING NON-CONTACT SURFACE TEMPERATURE MEASURING PROBES von PROUTY, Stephen Donald, PEREZ GUZMAN, Martin, BAMMANAHALLI, Gautham, INOUE, Tatsuichiro, RAVI, Sankaranarayanan, GUPTA, Suresh, GARCIA, Alvaro, NOUJAIM, Andrew Antoine, GNANAPRAKASA, Tony Jefferson

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8

Large diameter porous plug for argon delivery and two stage soft chucking method von INOUE, TATSUICHIRO, GARCIA, ALVARO, PROUTY, STEPHEN DONALD, PEREZ GUZMAN, MARTIN, BAMMANAHALLI, GAUTHAM, GNANAPRAKASA, TONY JEFFERSON, MOORE, NATHANIEL

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Improved vacuum sealing integrity of cryogenic electrostatic chucks using non-contact surface temperature measuring probes von RAVI, SANKARANARAYANAN, INOUE, TATSUICHIRO, GARCIA, ALVARO, PROUTY, STEPHEN DONALD, PEREZ GUZMAN, MARTIN, GUPTA, SURESH, BAMMANAHALLI, GAUTHAM, GNANAPRAKASA, TONY JEFFERSON, NOUJAIM, ANDREW ANTOINE

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