Suchergebnisse - BALAKRISHNA PARTHIBAN | OPAC THWS

1

Source RF power split inner coil to improve BCD and etch depth performance von Mangalore, Chethan, Ren, Ruizhe, Farr, Jon C, Demonte, Peter, Wang, Rongping, Balakrishna, Parthiban

Volltext bestellen

Patent

In die Zwischenablage Aus der Zwischenablage entfernen
Zu den Favoriten

Gespeichert in:
2

SOURCE RF POWER SPLIT INNER COIL TO IMPROVE BCD AND ETCH DEPTH PERFORMANCE von WANG Rongping, DEMONTE Peter, BALAKRISHNA Parthiban, FARR Jon C, REN Ruizhe, MANGALORE Chethan

Volltext bestellen

Patent

In die Zwischenablage Aus der Zwischenablage entfernen
Zu den Favoriten

Gespeichert in:
3

SOURCE RF POWER SPLIT INNER COIL TO IMPROVE BCD AND ETCH DEPTH PERFORMANCE von MANGALORE, Chethan, WANG, Rongping, BALAKRISHNA, Parthiban, DEMONTE, Peter, REN, Ruizhe, FARR, Jon C

Volltext bestellen

Patent

In die Zwischenablage Aus der Zwischenablage entfernen
Zu den Favoriten

Gespeichert in:
4

Source RF power split inner coil to improve BCD and etch depth performance von FARR JON C, MANGALORE CHETHAN, REN RUIZHE, BALAKRISHNA PARTHIBAN, WANG RONGPING, DEMONTE PETER

Volltext bestellen

Patent

In die Zwischenablage Aus der Zwischenablage entfernen
Zu den Favoriten

Gespeichert in:
5

BCD 및 에칭 깊이 성능을 개선하기 위한 소스 RF 전력 분할 내부 코일 von FARR JON C, MANGALORE CHETHAN, REN RUIZHE, BALAKRISHNA PARTHIBAN, WANG RONGPING, DEMONTE PETER

Volltext bestellen

Patent

In die Zwischenablage Aus der Zwischenablage entfernen
Zu den Favoriten

Gespeichert in:
6

Source RF power split inner coil to improve BCD and etch depth performance von WANG, RONGJUN, MANGALORE, CHETHAN, FARR, JON C, BALAKRISHNA, PARTHIBAN, REN, RUI-ZHE, DEMONTE, PETER

Volltext bestellen

Patent

In die Zwischenablage Aus der Zwischenablage entfernen
Zu den Favoriten

Gespeichert in: