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Hard x-ray phase zone plate fabricated by lithographic techniques
Veröffentlicht in Applied physics letters
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High resolution fresnel zone plates for soft x-rays
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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1/ f noise in amorphous silicon and hydrogenated amorphous silicon thin films
Veröffentlicht in Solid-state electronics
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Microfabrication of phase shifting zone plates for hard x-rays
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Cu/Pd thin-film thermopile as a temperature and hydrogen sensor
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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CD control of sub-200 nm x-ray masks using an e-beam writer
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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