Long Slender Piezo-Resistive Silicon Microprobes for Fast Measurements of Roughness and Mechanical Properties inside Micro-Holes with Diameters below 100 µm von Brand, Uwe, Xu, Min, Doering, Lutz, Langfahl-Klabes, Jannick, Behle, Heinrich, Bütefisch, Sebastian, Ahbe, Thomas, Peiner, Erwin, Völlmeke, Stefan, Frank, Thomas, Mickan, Bodo, Kiselev, Ilia, Hauptmannl, Michael, Drexel, Michael

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High-speed microprobe for roughness measurements in high-aspect-ratio microstructures von Doering, Lutz, Brand, Uwe, Bütefisch, Sebastian, Ahbe, Thomas, Weimann, Thomas, Peiner, Erwin, Frank, Thomas

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A Disposable Pneumatic Microgripper for Cell Manipulation with Image-Based Force Sensing von Gursky, Benjamin, Bütefisch, Sebastian, Leester-Schädel, Monika, Li, Kangqi, Matheis, Barbara, Dietzel, Andreas

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A high precision micro/nano CMM using piezoresistive tactile probes von Dai, Gaoliang, Bütefisch, Sebastian, Pohlenz, Frank, Danzebrink, Hans-Ulrich

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Overview of 3D Micro- and Nanocoordinate Metrology at PTB von Dai, Gaoliang, Neugebauer, Michael, Stein, Martin, Bütefisch, Sebastian, Neuschaefer-Rube, Ulrich

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An Immersible Microgripper for Pancreatic Islet and Organoid Research von Früh, Eike, Bütefisch, Sebastian, Gursky, Benjamin, Brüning, Dennis, Leester-Schädel, Monika, Dietzel, Andreas, Rustenbeck, Ingo

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Process development and validation of next generation 3D calibration standards for application in optical microscopy von Hellmich, Celina, Heinrich, Lena, Hemmleb, Matthias, Bütefisch, Sebastian, Weimann, Thomas, Kroker, Stefanie

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A New XPS Test Material for More Reliable Analysis of Microstructures von Stockmann, Jörg M., Radnik, Jörg, Bütefisch, Sebastian, Weimann, Thomas, Hodoroaba, Vasile‐Dan

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Introduction to lateral resolution and analysis area measurements in XPS von Unger, Wolfgang E. S., Stockmann, Jörg M., Senoner, Mathias, Weimann, Thomas, Bütefisch, Sebastian, Passiu, Cristiana, Spencer, Nicholas D., Rossi, Antonella

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A new test specimen for the determination of the field of view of small‐area X‐ray photoelectron spectrometers von Stockmann, Jörg M., Radnik, Jörg, Bütefisch, Sebastian, Busch, Ingo, Weimann, Thomas, Passiu, Cristiana, Rossi, Antonella, Unger, Wolfgang E.S.

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Fabrication and investigation of in-plane compliant SU8 structures for MEMS and their application to micro valves and micro grippers von Seidemann, Volker, Bütefisch, Sebastian, Büttgenbach, Stephanus

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Novel micro-pneumatic actuator for MEMS von Bütefisch, Sebastian, Seidemann, Volker, Büttgenbach, Stephanus

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Three-axes monolithic silicon low-g accelerometer von Butefisch, S., Schoft, A., Buttgenbach, S.

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Neue taktile Sensoren für die Mikro- und NanotechnikNew Tactile Sensors for Micro- and Nanotechnology von Brand, Uwe, Nesterov, Vladimir, Doering, Lutz, Bütefisch, Sebastian, Peiner, Erwin, Büttgenbach, Stephanus, Frühauf, Joachim

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Rastersondenmetrologie: Vom metrologischen Rasterkraftmikroskop zum Mikro- und NanokoordinatenmessgerätScanning Probe Metrology: From the Metrological SFM to the Micro/Nano CMM von Dai, Gaoliang, Bütefisch, Sebastian, Pohlenz, Frank, Danzebrink, Hans-Ulrich, Koenders, Ludger

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Millinewton-Mikrokraftmesser und Verfahren zum Herstellen eines Millinewton-Mikrokraftmessers von BÜTEFISCH, SEBASTIAN

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Siliziumwaferverbund, Geometrie-Normal und Verfahren zur Herstellung eines Mikrobauteils von Hinze, Peter, Weinert, Michelle, Bütefisch, Sebastian, Ahbe, Thomas, Weimann, Thomas

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Long Slender Piezo-Resistive Silicon Microprobes for Fast Measurements of Roughness and Mechanical Properties inside Micro-Holes with Diameters below 100 µm von Brand, Uwe, Xu, Min, Doering, Lutz, Langfahl-Klabes, Jannick, Behle, Heinrich, Bütefisch, Sebastian, Ahbe, Thomas, Mickan, Bodo, Peiner, Erwin, Völlmeke, Stefan, Frank, Thomas, Kiselev, Ilia, Drexel, Michael, Hauptmannl, Michael

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Verfahren zur Bestimmung einer Kristallrichtung eines Wafers von Winter, Sven-Martin, Dietzel, Andreas, Bütefisch, Sebastian, Weimann, Thomas

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Mikrogreifer und Verfahren zum Messen der Greifkraft eines Mikrogreifers von Leester-Schädel, Monika, Dietzel, Andreas, Molnar, Gabor, Bütefisch, Sebastian

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