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    Arbitrary spot location diffractive beam-splitting elements

    Arbitrary spot location diffractive beam-splitting elements von Bühling, Sven, Wyrowski, Frank


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    Resolution enhanced proximity printing by phase and amplitude modulating masks

    Resolution enhanced proximity printing by phase and amplitude modulating masks von Bühling, Sven, Wyrowski, Frank, Kley, Ernst-Bernhard, Nellissen, A J M, Wang, Lingli, Dirkzwager, Maarten


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