-
1
-
2
Oxide film assisted dopant diffusion in silicon carbide
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
3
-
4
Influence of Defects on Low Temperature Diffusion of Boron in SiC
Veröffentlicht in Materials sciences and applications
VolltextArtikel -
5
-
6
-
7