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Suchergebnisse - Asteiner, Michael
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Point spread function and total process function measured for a variable-shaped electron beam system
von
Asteiner, Michael
,
Schlemmer, Christian
,
Speckbacher, Peter
,
Hoffmann, Karl E.
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics
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Total process function in electron beam lithography
von
Hoffmann, Karl E.
,
Asteiner, Michael
,
Speckbacher, Peter
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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Journal Of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology And Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, And Phenomena
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Journal Of Vacuum Science And Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics
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Elsevier Sciencedirect Journals
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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