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Verformungsverhalten nanostrukturierter HPPMS‐Hartstoffschichten: Untersuchung von Hartstoffbeschichtungen im System M‐AI‐O‐N (M = Cr,V) mittels Nanoindentation und Nanoscratchtest...
Veröffentlicht in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten
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