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Self-heating of cryogenic high electron-mobility transistor amplifiers and the limits of microwave noise performance
von
Ardizzi, Anthony J.
,
Choi, Alexander Y.
,
Gabritchidze, Bekari
,
Kooi, Jacob
,
Cleary, Kieran A.
,
Readhead, Anthony C.
,
Minnich, Austin J.
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Journal of applied physics
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Atomic layer etching of SiO2 using sequential exposures of Al(CH3)3 and H2/SF6 plasma
von
Catherall, David S.
,
Hossain, Azmain A.
,
Ardizzi, Anthony J.
,
Minnich, Austin J.
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
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Isotropic atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using sequential exposures of H2 and SF6/Ar plasmas
von
Chen, Ivy I.
,
Solgaard, Jennifer
,
Sekine, Ryoto
,
Hossain, Azmain A.
,
Ardizzi, Anthony
,
Catherall, David S.
,
Marandi, Alireza
,
Renzas, James R.
,
Greer, Frank
,
Minnich, Austin J.
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
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Isotropic atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using sequential exposures of H$_2$ and SF$_6$ plasmas
von
Chen, Ivy I
,
Solgaard, Jennifer
,
Sekine, Ryoto
,
Hossain, Azmain A
,
Ardizzi, Anthony
,
Catherall, David S
,
Marandi, Alireza
,
Renzas, James R
,
Greer, Frank
,
Minnich, Austin J
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Self-heating of cryogenic high-electron-mobility transistor amplifiers and the limits of microwave noise performance
von
Ardizzi, Anthony J
,
Choi, Alexander Y
,
Gabritchidze, Bekari
,
Kooi, Jacob
,
Cleary, Kieran A
,
Readhead, Anthony C
,
Minnich, Austin J
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Directional atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using sequential exposures of H\(_2\) and SF\(_6\) plasma
von
Chen, Ivy I
,
Solgaard, Jennifer
,
Sekine, Ryoto
,
Hossain, Azmain A
,
Ardizzi, Anthony
,
Catherall, David S
,
Marandi, Alireza
,
Renzas, James R
,
Greer, Frank
,
Minnich, Austin J
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