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Suchergebnisse - Amashaev, R. R.
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Molecular Layer Deposition and Pyrolysis of Polyamide Films on Si(111) with Formation of β-SiC
von
Amashaev, R. R.
,
Abdulagatov, I. M.
,
Rabadanov, M. Kh
,
Abdulagatov, A. I.
Veröffentlicht in
Russian Journal of Physical Chemistry A
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2
Atomic Layer Deposition of Y2O3 Using Tris(butylcyclopentadienyl)yttrium and Water
von
Abdulagatov, A. I.
,
Amashaev, R. R.
,
Ashurbekova, Kr. N.
,
Ramazanov, Sh. M.
,
Palchaev, D. K.
,
Maksumova, A. M.
,
Rabadanov, M. Kh
,
Abdulagatov, I. M.
Veröffentlicht in
Russian microelectronics
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3
Atomic Layer Deposition of Aluminum Nitride and Oxynitride on Silicon Using Tris(dimethylamido)aluminum, Ammonia, and Water
von
Abdulagatov, A. I.
,
Amashaev, R. R.
,
Ashurbekova, Kr. N.
,
Ashurbekova, K. N.
,
Rabadanov, M. Kh
,
Abdulagatov, I. M.
Veröffentlicht in
Russian journal of general chemistry
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4
Molecular Layer Deposition and Thermal Transformations of Titanium(Aluminum)-Vanadium Hybrid Organic-Inorganic Films
von
Abdulagatov, A. I.
,
Ashurbekova, Kr. N.
,
Ashurbekova, Ka. N.
,
Amashaev, R. R.
,
Rabadanov, M. Kh
,
Abdulagatov, I. M.
Veröffentlicht in
Russian journal of applied chemistry
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5
Synthesis of ultrathin heteroepitaxial 3C-SiC films by pyrolysis of molecular layer deposition polyamide films on Si
von
Amashaev, Rustam R.
,
Alikhanov, Nariman M.-R.
,
Ismailov, Abubakar M.
,
Abdulagatov, Ilmutdin M.
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
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1400 : 2025
1400
2025
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