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    Fabrication Process for Deep Submicron SQUID Circuits with Three Independent Niobium Layers

    Fabrication Process for Deep Submicron SQUID Circuits with Three Independent Niobium Layers von Wolter, Silke, Linek, Julian, Altmann, Josepha, Weimann, Thomas, Bechstein, Sylke, Kleiner, Reinhold, Beyer, Jörn, Koelle, Dieter, Kieler, Oliver

    Veröffentlicht in Micromachines (Basel)

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