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C49–C54 phase transition in nanometric titanium disilicide nanograins
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Electrical properties of TiSi2 clusters in poly Si
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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C49-C54 phase transition in nanometric titanium disilicide grains
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Electrical properties of TiSi sub(2) clusters in poly Si
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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