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High-temperature annealing of ( ) β-Ga2O3 substrates for reducing structural defects after diamond sawing
von
Butenko, Pavel
,
Boiko, Michael
,
Sharkov, Mikhail
,
Almaev, Aleksei
,
Kitsay, Aleksnder
,
Krymov, Vladimir
,
Zarichny, Anton
,
Nikolaev, Vladimir
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Journal of semiconductors
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High-temperature annealing of ( ) β-Ga 2 O 3 substrates for reducing structural defects after diamond sawing
von
Butenko, Pavel
,
Boiko, Michael
,
Sharkov, Mikhail
,
Almaev, Aleksei
,
Kitsay, Aleksnder
,
Krymov, Vladimir
,
Zarichny, Anton
,
Nikolaev, Vladimir
Veröffentlicht in
Journal of semiconductors
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High-temperature annealing of ((2)01) β-Ga2O3 substrates for reducing structural defects after diamond sawing
von
Pavel Butenko
,
Michael Boiko
,
Mikhail Sharkov
,
Aleksei Almaev
,
Aleksnder Kitsay
,
Vladimir Krymov
,
Anton Zarichny
,
Vladimir Nikolaev
Veröffentlicht in
半导体学报(英文版)
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