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The use of ferrofluids in micromechanics
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Modeling the Thermal Actuation in a Thermo-Pneumatic Micropump
Veröffentlicht in Journal of electronic packaging
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Ion beam synthesis of n-type doped SiC layers
Veröffentlicht in Applied surface science
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Electrochemical etch-stop characteristics of TMAH:IPA solutions
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A, Physical
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Design of a modular micropump based on anodic bonding
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Design of a modular micropump based on anodic bonding
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Anisotropic etch-stop properties of nitrogen-implanted silicon
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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