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LOW TEMPERATURE MOLYBDENUM FILM DEPOSITON UTILIZING BORON NUCLEATION LAYERS
von
MENG, Shuang
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ASSION, Richard Ulrich
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BAUM, Thomas
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HENDRIX, Bryan Clark
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LOW TEMPERATURE MOLYBDENUM FILM DEPOSITION UTILIZING BORON NUCLEATION LAYERS
von
Baum, Thomas H
,
Assion, Richard Ulrich
,
Meng, Shuang
,
Hendrix, Bryan Clark
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LOW TEMPERATURE MOLYBDENUM FILM DEPOSITION UTILIZING BORON NUCLEATION LAYERS
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Baum, Thomas H
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Assion, Richard Ulrich
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LOW TEMPERATURE MOLYBDENUM FILM DEPOSITON UTILIZING BORON NUCLEATION LAYERS
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,
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붕소 핵생성 층을 이용하는 저온 몰리브데넘 막 증착
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MENG SHUANG
,
HENDRIX BRYAN CLARK
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ASSION RICHARD ULRICH
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BAUM THOMAS H
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Low temperature molybdenum film deposition utilizing boron nucleation layers
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ASSION, RICHARD ULRICH
,
BAUM, THOMAS
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MENG, SHUANG
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