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The design and application of electron cyclotron resonance discharges
Veröffentlicht in IEEE transactions on plasma science
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Special Issue on Plenary and Invited Papers From ICOPS 2006
Veröffentlicht in IEEE transactions on plasma science
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Development of Plasma Nanomanufacturing Workcell
Veröffentlicht in Journal of manufacturing science and engineering
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Development of Plasma Nanomanufacturing Workcell
Veröffentlicht in Journal of manufacturing science and engineering
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