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    Porous Silicon in a Semiconductor Manufacturing Environment

    Porous Silicon in a Semiconductor Manufacturing Environment von Boehringer, M., Artmann, H., Witt, K.


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    Brandschutz in der Gebäudetechnik für den produktiven Holzbau

    Brandschutz in der Gebäudetechnik für den produktiven Holzbau von Artmann, Hans‐Henning, Waldner, Alexander

    Veröffentlicht in Die Bautechnik

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    Textured monocrystalline thin-film Si cells from the porous silicon (PSI) process

    Textured monocrystalline thin-film Si cells from the porous silicon (PSI) process von Brendel, Rolf, Auer, Richard, Artmann, Hans

    Veröffentlicht in Progress in photovoltaics

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    SENSOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A SENSOR DEVICE

    SENSOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A SENSOR DEVICE von Reinmuth, Jochen, Artmann, Hans

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    Firestop collar

    Firestop collar von Berghofer, Egon, Artmann, Hans Henning, Koegler, Markus, Muenzenberger, Herbert

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    Sensor device and method for producing a sensor device

    Sensor device and method for producing a sensor device von REINMUTH, JOCHEN, ARTMANN, HANS

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    FIRE PROTECTION SLEEVE

    FIRE PROTECTION SLEEVE von KOGLER, MARKUS, BERGHOFER, EGON, ARTMANN, HANS HENNING, MUNZENBERGER, HERBERT

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    Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Bauteilen

    Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Bauteilen von Reinmuth, Jochen, Artmann, Hans

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    Firestop collar

    Firestop collar von Berghofer, Egon, Artmann, Hans Henning, Koegler, Markus, Muenzenberger, Herbert

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    FIRESTOP COLLAR

    FIRESTOP COLLAR von Berghofer, Egon, Artmann, Hans Henning, Koegler, Markus, MUENZENBERGER, Herbert

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    FLAME RETARDANT SLEEVE

    FLAME RETARDANT SLEEVE von KÖGLER, Markus, MÜNZENBERGER, Herbert, ARTMANN, Hans Henning, BERGHOFER, Egon

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    Heart valve docking device and system for treating natural valve of patient

    Heart valve docking device and system for treating natural valve of patient von MAIMON DAVID, ARTMANN HANS

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    Micromechanical component for a capacitive pressure sensor device

    Micromechanical component for a capacitive pressure sensor device von Senz, Volkmar, Hermes, Christoph, Artmann, Hans, Schmollngruber, Peter, Friedrich, Thomas, Weber, Heribert

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    Micromechanical component for a capacitive pressure sensor device

    Micromechanical component for a capacitive pressure sensor device von Senz, Volkmar, Hermes, Christoph, Artmann, Hans, Schmollngruber, Peter, Friedrich, Thomas, Weber, Heribert

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    MEMS capacitive sensor including improved contact separation

    MEMS capacitive sensor including improved contact separation von Senz, Volkmar, Hermes, Christoph, Artmann, Hans, Schmollngruber, Peter, Weber, Heribert, Friedrich, Thomas

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    Micromechanical component and method for manufacturing a micromechanical component

    Micromechanical component and method for manufacturing a micromechanical component von Reinmuth, Jochen, Artmann, Hans, Hermes, Christoph, Schmollngruber, Peter, Weber, Heribert, Friedrich, Thomas

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    Porous silicon technique for realization of surface micromachined silicon structures with large gaps

    Porous silicon technique for realization of surface micromachined silicon structures with large gaps von Artmann, Hans, Frey, Wilhelm


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    Method for sealing entries in a MEMS element

    Method for sealing entries in a MEMS element von Hermes, Christoph, Artmann, Hans, Schmollngruber, Peter, Menold, Tobias Joachim, Ametowobla, Mawuli, Weber, Heribert, Friedrich, Thomas

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  19. 19
    PRODUCTION METHOD FOR A MICROMECHANICAL COMPONENT FOR A SENSOR DEVICE OR MICROPHONE DEVICE

    PRODUCTION METHOD FOR A MICROMECHANICAL COMPONENT FOR A SENSOR DEVICE OR MICROPHONE DEVICE von Scheurle, Andreas, Schiller, Uwe, Artmann, Hans, Schmollngruber, Peter, Weber, Heribert, Friedrich, Thomas

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    Micromechanical component and method for producing a micromechanical component

    Micromechanical component and method for producing a micromechanical component von REINMUTH JOCHEN, ARTMANN HANS

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