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MICROSTRUCTURAL MULTILAYERED SCREEN AND VACUUM ISOLATION OF SPACECRAFTS
von
ANUROV ALEKSEJ EVGENEVICH
,
ZHUKOV ANDREJ ALEKSANDROVICH
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SOLID STATE POWER TRANSISTOR PRODUCTION TECHNIQUE
von
Anurov Aleksej Evgenevich
,
Ryabev Aleksej Nikolaevich
,
Plyasunov Viktor Alekseevich
,
Basovskij Andrej Andreevich
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METHOD OF MANUFACTURING PLATED-THROUGH MICROHOLES IN SILICON SUBSTRATE
von
Zhukov Andrej Aleksandrovich
,
Podgorodetskij Sergej Gennadevich
,
Anurov Aleksej Evgenevich
,
Zabotin Yurij Mikhajlovich
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4
METHOD OF SILICON NITRIDE PRECIPITATION ON SILICON SUBSTRATE
von
ANUROV ALEKSEJ EVGEN'EVICH
,
ZHUKOV ANDREJ ALEKSANDROVICH
,
DOLGOPOLOV VLADIMIR MIRONOVICH
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Patent
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Esp@Cenet
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