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Tutorial: Reactive high power impulse magnetron sputtering (R-HiPIMS)
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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A structure zone diagram including plasma-based deposition and ion etching
Veröffentlicht in Thin solid films
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Discharge physics of high power impulse magnetron sputtering
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Plasma potential of a moving ionization zone in DC magnetron sputtering
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Meeting today’s needs in applied physics publishing
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Self-organization and self-limitation in high power impulse magnetron sputtering
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Serving a scientific community in an evolving research landscape
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Foundations of physical vapor deposition with plasma assistance
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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Direct observation of spoke evolution in magnetron sputtering
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Plasma studies of a linear magnetron operating in the range from DC to HiPIMS
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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