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Embedded fiber-optic Fabry-Perot ultrasound sensor
von
Alcoz, J.J.
,
Lee, C.E.
,
Taylor, H.F.
Veröffentlicht in
IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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Method and apparatus for detection of ultrasound using a fiber-optic interferometer
von
ALCOZ
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JORGE J
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System and method for controlling process temperatures for a semi-conductor wafer
von
DUFFER CHARLES E
,
ALCOZ JORGE J
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System and method for controlling process temperatures for a semi-conductor wafer
von
JORGE J. ALCOZ
,
CHARLES E. DUFFER
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5
SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING PROCESS TEMPERATURES FOR A SEMI-CONDUCTOR WAFER
von
DUFFER, CHARLES, E
,
ALCOZ, JORGE, J
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