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    Implementation of an ultra deep X-ray lithography (UDXRL) system at CAMD

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    Chemical Detection with MOF-Functionalized Piezoresistive Microcantilever Arrays

    Chemical Detection with MOF-Functionalized Piezoresistive Microcantilever Arrays von Choudhury, Arnab, Hesketh, P., Hu, Zhiyu, Thundat, Thomas, Bhakta, Raghunandan, Houk, R. J. T., Skulan, Andrew, Aigeldinger, Georg, Talin, Albert, Allendorf, Mark


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    Vitreous carbon mask substrate for X-ray lithography

    Vitreous carbon mask substrate for X-ray lithography von Aigeldinger, Georg, Skala, Dawn M, Griffiths, Stewart K, Talin, Albert Alec, Losey, Matthew W, Yang, Chu-Yeu Peter

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    Vitreous carbon mask substrate for X-ray lithography

    Vitreous carbon mask substrate for X-ray lithography von AIGELDINGER GEORG, YANG CHU-YEU PETER, TALIN ALBERT ALEC, GRIFFITHS STEWART K, SKALA DAWN M, LOSEY MATTHEW W

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