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Recrystallization behavior of thin metal films during isothermal and pulsed annealing
Veröffentlicht in Inorganic materials
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Treatment of Ti–Si contact in hydronitrogen plasma
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Nitrogen-hydrogen plasma processing of thin vanadium films
Veröffentlicht in Inorganic materials
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Preparation of TiSi2 via flash lamp processing of TiN/Ti/Si heterostructures
Veröffentlicht in Inorganic materials
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Pore formation in thin nickel films under laser irradiation
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Laser-induced structural transformations in thin metal films
Veröffentlicht in Thin solid films
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C49 TiSi2 on silicon: Preparation by rapid thermal processing and optical properties
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