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    組成変調構造を持つTi-TiN多層構造薄膜のナノインデンテーション法による硬さの評価

    組成変調構造を持つTi-TiN多層構造薄膜のナノインデンテーション法による硬さの評価 von 北河, 勝, 佐藤, 彰繁, 黒田, 靖信, 草野, 英二, 南戸, 秀仁, 金原, 粲

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    組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO2とZrN/ZrO2膜の硬さ及び付着力に与える影響

    組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO2とZrN/ZrO2膜の硬さ及び付着力に与える影響 von 一山, 正則, 沢平, 嘉浩, 黒田, 靖信, 佐藤, 彰繁, 北河, 勝, 菊地, 直人, 草野, 英二, 南戸, 秀仁, 金原, 粲

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