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    スパッタ法により作製したSi-DLCとTi-DLCのドーパント効果

    スパッタ法により作製したSi-DLCとTi-DLCのドーパント効果 von 石黒, 菜々子, 賈, 軍軍, 黒瀬, 愛美, 待永, 広宣, 重里, 有三


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