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    鉄粉層内蔵ばね型アクチュエータを用いたリニア平面位置制御機構の開発

    鉄粉層内蔵ばね型アクチュエータを用いたリニア平面位置制御機構の開発 von 藤中, 哲也, 長屋, 幸助, 坂本, 直也, 鹿島, 健作

    Veröffentlicht in ばね論文集

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