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1
パワーデバイス用Siエピウェーハにおける炭素不純物のPL評価
von
中川, 聰子
,
鹿島, 一日兒
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応用物理学会学術講演会講演予稿集
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2
MCZシリコン単結晶のバルクライフタイムに対する低炭素化の効果
von
日笠, 光朗
,
永井, 勇太
,
中川, 聰子
,
鹿島, 一日兒
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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低温超音波測定と2次欠陥測定によるCZシリコン結晶中の原子空孔評価(2) 原子空孔とBMD密度の相関
von
岡部, 和樹
,
斎藤, 広幸
,
鹿島, 一日兒
,
金田, 寛
,
斉藤, 芳彦
,
根本, 祐一
,
後藤, 輝孝
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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4
太陽電池用GeSnC混晶系の原子配置に関する第一原理解析
von
松谷, 亮
,
末岡, 浩治
,
神山, 栄治
,
泉妻, 宏治
,
鹿島, 一日児
,
中塚, 理
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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Artikel
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5
元素分配の適用による面の荒さの評価 : モルフォロジー
von
香内, 晃
,
菅原, 泰充
,
鹿島, 一日児
,
砂川, 一郎
Veröffentlicht in
日本結晶成長学会誌
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結晶工学
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