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SiN:Fゲート絶縁膜を用いた高信頼性a-InGaZnO薄膜トランジスタの界面における結合状態の解析
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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「講演奨励賞受賞記念講演」アモルファスInGaZnO薄膜トランジスタにおけるゲート絶縁膜中のフッ素が信頼性に与える影響
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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