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プラズマ後窒化によるHfO2/Al2O3/SiGeゲートスタックのEOTスケーリングに関する検討
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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酸化濃縮基板へのSb ドーピングにより作製した極薄膜Ge-on-Insulator nMOSFETs
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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HfO2成膜前アニールにより形成したGaOxパッシベーション層形成によるSub-1.0 nm EOT HfO2/In0.53Ga0.47As nMISFETの電子移動度向上
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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300 mmシリコンウエハー上へのエピタキシャルリフトオフ法によるIII-V/Ge高移動度チャネル材料転写技術
Veröffentlicht in 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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