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    水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるHVPE-In2O3成長層のエッチング特性評価

    水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるHVPE-In2O3成長層のエッチング特性評価 von 富樫, 理恵, 笠羽, 遼, 大江, 優輝, 長井, 研太, 後藤, 健, 熊谷, 義直, 菊池, 昭彦


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    In2O3のハライド気相成長におけるIn原料分子種の影響

    In2O3のハライド気相成長におけるIn原料分子種の影響 von 長井, 研太, 田中, 那実, 税本, 雄也, 富樫, 理恵, 竹川, 直, 後藤, 健, 熊谷, 義直


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    c面サファイアoff基板を用いたc-In2O3(111)単結晶のHVPE成長

    c面サファイアoff基板を用いたc-In2O3(111)単結晶のHVPE成長 von 長井, 研太, 中畑, 秀利, 小西, 敬太, Paskov, Plamen P., Monemar, Bo, 熊谷, 義直


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