セラミック製空気静圧送りねじの開発 von 金井, 宗統, 石原, 直

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SOR用たて形X線ステッパの開発 von 石原, 直, 宇根, 篤〓, 金井, 宗統, 鈴木, 雅則, 福田, 眞, 小俣, 冨士夫

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空気浮上式高速XYステージの試作 von 木下, 博雄, 金井, 宗統, 出口, 公吉, 斉藤, 忠男

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Air Bearing Lead Screw and Nut Using Porous Ceramic Material von KANAI, Munenori, ISHIHARA, SUMO

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Air Bearing Guided High Speed XY Stage von KINOSHITA, Hiroo, KANAI, Munenori, DEGUCHI, Kimiyoshi, SAITO, Tadao

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A Vertical X-ray Stepper for SOR Lithography von ISHIHARA, Sunao, UNE, Atsunobu, KANAI, Munenori, SUZUKI, Masanori, FUKUDA, Makoto, OMATA, Fujio

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