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    固定砥粒を用いたSTI平坦化プロセスの研究 (第1報): 平坦化加工性向上のための要因分析

    固定砥粒を用いたSTI平坦化プロセスの研究 (第1報): 平坦化加工性向上のための要因分析 von 片桐, 創一, 安井, 感, 山口, 宇唯, 河村, 喜雄, 河合, 亮成, 金井, 史幸, 徳田, 光雄, 本田, 実, 森山, 茂夫

    Veröffentlicht in 精密工学会誌論文集

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    Study on STI planarization process using fixed abrasive tool (1st Report): Factor analysis to obtain flatter surface

    Study on STI planarization process using fixed abrasive tool (1st Report): Factor analysis to obtain flatter surface von KATAGIRI, Souichi, YASUI, Kan, YAMAGUCHI, Ui, KAWAMURA, Yoshio, KAWAI, Ryousei, KANAI, Fumiyuki, TOKUDA, Mitsuo, HONDA, Minoru, MORIYAMA, Shigeo


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