極薄ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜のナノメータスケールの力学特性評価 von 黒坂, 渡, 三宅, 正二郎, 押元, 幸一, 金, 鍾得

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メカノケミカル反応によるシリコンのナノメータ隆起除去加工とそのエッチングマスクヘの応用 von 金, 鍾得, 三宅, 正二郎

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BCN膜の微細構造への大気中熱処理の影響 von 金, 鍾得, 中尾, 節男, 崔, 俊豪, 三宅, 正二郎

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レーザーアニールSiCの結晶性評価（3） von 山本, 秀和, 内盛, 瑞記, マッツァムト, フルビオ, 金, 鍾得, 小野, 修一, 新井, 学

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原子間力顕微鏡(AFM)によるシリコンのマイクロ隆起加工 von 三宅, 正二郎, 金, 鍾得

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ナノ周期積層膜の摩耗特性を活用したナノ加工技術の開発 von 三宅, 正二郎, 関根, 幸男, 金, 鍾得, 山本, 洋和

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Nanometer Scale Protuberance and Groove Processing of Silicon by Mechano-chemical Action and Its Application of Etching Mask von KIM, Jongduk, MIYAKE, Shojiro

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シリコンのナノメータ隆起と除去加工 von 三宅, 正二郎, 金, 鍾得

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フッ化炭素プラズマ処理シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜の機械特性 von 金, 鍾得, 三宅, 正二郎, 伴, 雅人

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Microprotuberance Processing of Silicon by Diamond Tip Scanning von MIYAKE, Shojiro, KIM, Jongduk

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Mechanical Properties of Fluorocarbon Plasma Treated Silicon Containing Diamond Like Carbon Films von KIM, Jongduk, MIYAKE, Shojiro, BAN, Masahito

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Nano Protuberance and Groove Processing of Silicon by Diamond Tip Sliding von Miyake, Shojiro, Kim, Jong-duk

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Characterization of PMMA chips by AFM for incubation type planar patch clamp von OBULIRAJ, SENTHILKUMAR

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