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プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた窒素ガスとアルゴンガスの自己点弧プラズマの点灯のタイミング
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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プラズマベースイオン注入(PBII)法を用いた窒素ガスによる自己点弧プラズマの密度算定
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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