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パルスレーザー堆積法によりシクロオレフィンポリマー基板上に作製したアルミニウムドープ酸化亜鉛系透明導電膜
von
中村, 篤宏
,
道畑, 良太
,
青木, 孝憲
,
鈴木, 晶雄
,
松下, 辰彦
,
奥田, 昌宏
Veröffentlicht in
Journal of the Vacuum Society of Japan
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