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    双源电子束蒸发制备Si／SiO2光学薄膜的工艺

    双源电子束蒸发制备Si／SiO2光学薄膜的工艺 von 赵妙 周代兵 谭满清 王晓东 吴旭明

    Veröffentlicht in Journal of semiconductors

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