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    SOl-based radial-contour-mode micromechanical disk resonator

    SOl-based radial-contour-mode micromechanical disk resonator von 贾英茜 赵正平 杨拥军 胡晓东 李倩

    Veröffentlicht in 半导体学报

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    SOI-based radial-contour-mode micromechanical disk resonator

    SOI-based radial-contour-mode micromechanical disk resonator von Jia, Yingqian (英茜 贾), Zhao, Zhengping (正平 赵), Yang, Yongjun (拥军 杨), Hu, Xiaodong (晓东 胡), Li, Qian (倩李)

    Veröffentlicht in Journal of semiconductors

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